對干燥的氟化氫可以用銅合金源、鉬、鎳、蒙乃爾、因科鎳合金、鋅、銀、金、鉑。對潮濕的氟化氫可以使用鉬、蒙乃爾、因科鎳合金、銀、金、鉑。也可以使用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。
任何用于HF的裝置都應事先經過下列處理,即先用三氯乙烯去脂,用丙酮干燥,用氦檢漏,然后在120℃溫度下燒烤至少30分鐘,同時抽真空至P≤10-2mmHg.接著,裝置在真空狀態下通F2以鈍化金屬表面(先充入0.1bar的F2,以后每隔15分鐘充入0.1bar的F2氣至0.3bar,然后再充至1bar,保持30分鐘,再充F2到10bar,并保持幾小時)。
在火場中有氟化氫時,可以用水沖射滅火。泄漏出來的液體氟化氫廳用蘇打水攪勻后用水沖洗,經稀釋的洗水可以放入廢水系統。漏出來的氣體要用排風機排送至水洗塔或與水洗塔相連的通風櫥內。廢氣可用水吸收或用堿液中和。